【製程設備】總覽與收費標準

清大.其他學界.業界.矽等向蝕刻系統.(XeF2SiIsotropicEtching).(Clean製程及操作時間皆列入計費,.最低使用時數2hr).委託代工代工費率.25元/分.37元/分.

【製程設備】總覽與收費標準

清大. 其他學界. 業界. 矽等向蝕刻系統. (XeF2 Si Isotropic Etching). (Clean 製程及操作時間皆列入計費,. 最低使用時數2hr). 委託代工代工費率. 25 元/分. 37 元/分.

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